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氮化硼封裝對2D半導(dǎo)體層等離子體處理的影響（下）結(jié)果和討論在樣品制備、器件制造和后處理過程中，2D材料或異質(zhì)結(jié)構(gòu)可能會遇到幾種形式的高能輻射源。使用的輻射源包括電子、離子(氬、氦和氙)和光子(激光、紫外線)通量。然而，離子束和紫外光分別是蝕刻和光刻工藝中最CY的。在這里，我們研究了h-BN，MoS2及其異質(zhì)結(jié)構(gòu)在Ar+離子等離子體下曝光。氬離子等離子體是最CY的，因為氬由于其固有的惰性不會與樣品形成化學(xué)鍵。氬也是一種足夠重的離子，可以提供足夠的動能以在合理的加速電壓下蝕刻樣品...

二維(2D)過渡金屬二硫族化合物(TMDCs)在光學(xué)、電子學(xué)、催化和能量存儲方面的應(yīng)用是研究的熱點。當(dāng)封裝在沒有電荷無序的環(huán)境中時，它們的光學(xué)和電子性質(zhì)可以顯著增強。因為六方氮化硼(h-BN)是原子級薄的、高度結(jié)晶的并且是強絕緣體，所以它是封裝和鈍化TMDCs常用的2D材料之一。在這份報告中，我們研究了超薄氮化硼如何屏蔽底層金屬氧化物半導(dǎo)體在半導(dǎo)體器件制造和后處理過程中通常使用的高能氬等離子體的TMDCs層。像差校正的掃描透射電子顯微鏡用于分析h-BN和MoS2中的缺陷形成這...

石墨烯通常通過化學(xué)氣相沉積（CVD）在生長基底上沉積，然后轉(zhuǎn)移到適合其特定應(yīng)用的目標基底上。等離子體處理可用于支持和促進各種石墨烯轉(zhuǎn)移方法。介紹石墨烯是一種具有六方晶體結(jié)構(gòu)的單原子碳層，由于其許多DT的材料特性，在過去幾十年中受到了廣泛的研究。憑借其高導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性、近乎光學(xué)的透明度和高機械強度，石墨烯被認為是一種非常通用的二維材料，可用于廣泛的應(yīng)用，包括能源儲存、光學(xué)顯示和傳感器[1-3]。生產(chǎn)石墨烯的常見方法是CVD，使用碳氫化合物氣體或含碳前體與催化襯底（如銅銅箔）結(jié)合...

氧化鋅（ZnO）是一種令人興奮的可替代寬帶隙半導(dǎo)體，在傳感器和柔性電子器件中具有廣闊的應(yīng)用前景。等離子體處理可用于為氧化鋅沉積準備表面，通過去除有機雜質(zhì)和表面改性改善電性能，并促進氧化鋅器件的制造。介紹氧化鋅是一種寬帶隙半導(dǎo)體，具有與氮化鎵（GaNIII-V）半導(dǎo)體相似的電氣和物理特性。由于鋅含量相對豐富且能夠在低溫下沉積氧化鋅，因此氧化鋅作為氮化鎵的低成本替代品更具有吸引力，可用于發(fā)光二極管(LED)、光電子學(xué)和柔性電子學(xué)。此外，氧化鋅在可見光譜中是光學(xué)透明的，通過適當(dāng)?shù)膿?..

等離子清洗機常用的工藝氣體有氧氣、氬氣、氮氣、壓縮空氣、二氧化碳、氫氣、四氟化碳等。它是將氣體電離產(chǎn)生等離子體對工件進行表面處理,無論是進行清洗還是表面活化,為達到Z佳的處理效果會選用不同的工藝氣體,那么等離子清洗機的常用工藝氣體又該如何選擇呢?01氧氣氧氣是等離子清洗常用的活性氣體,屬于物理+化學(xué)的處理方式,電離后產(chǎn)生的離子體能夠?qū)Ρ砻孢M行物理轟擊,形成粗糙表面。同時高活性的氧離子能夠與被斷鍵后的分子鏈發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成活性基團的親水表面,達到表面活化的目的;被斷鍵后的有機污...

紫外線臭氧如何清潔樣品？紫外線臭氧清潔是一種光敏氧化過程，其中處于激發(fā)態(tài)的有機分子與臭氧分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，導(dǎo)致鍵斷裂和分子從表面解離。該方法利用高強度紫外光源，該紫外光源在185納米和254納米處具有兩個主要發(fā)射峰。這兩種波長負責(zé)不同的過程，最終導(dǎo)致表面的清潔。低于200納米的輻射被分子氧強烈吸收。吸收的光子的能量足以打破氧-氧雙鍵，導(dǎo)致氧(O)的兩個自由基的形成。這些自由基隨后可以與分子氧反應(yīng)，產(chǎn)生臭氧分子(O3).254nm的紫外輻射容易被存在于許多基底表面上的有機物質(zhì)吸...

無真空托盤有哪些好處呢？1.薄基材很容易被真空吸盤翹曲，從而影響涂層均勻性。沉積在多孔基板（如陶瓷）頂部的溶液上的真空力也會導(dǎo)致不均勻性。這會降低設(shè)備的質(zhì)量和性能。我們的無真空卡盤通過保持基材平整且不受損壞來確保薄膜分布均勻。2.無需真空管路，旋涂機可以在任何地方設(shè)置，只需一個電源插座即可?？赏惶煸趯嶒炇夜ぷ髋_、通風(fēng)柜或手套箱中旋涂使用。3.真空泵容易損壞，導(dǎo)致昂貴的維修和項目延誤。這主要是由于將過量的溶劑吸入真空管路，損壞了內(nèi)部組件。我們的旋涂機是一種可靠且完整的替代方案...